本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。
对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达50 kHz、噪声密度低至25 g/‑Hz的加速度计。通过精心设计的信号调理电子电路，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声优势。
SiA202 | 参数 | 备注 | 单位 | 最小值 | 典型值 | 最大值 |
量程 | g | ±2 | |||
非线性 | IEEE Norm , %全量程 | % | 0.3 | 1.0 | |
频率响应 | -3dB | Hz | 200 | ||
谐振频率 | 过阻尼 | kHz | 1.4 | ||
振动整流误差 | 均值频率 [50Hz , 2kHz] | µg/g2 | 1300 | ||
噪声 | 频带内 | µg/√Hz | 7 | ||
分辨率 | @1Hz | µg rms | 7 | ||
启动响应时间 | 工作延时运动一次 | µs | 40 | ||
偏值（K0）温度系数 | 测定范围[-40℃， 85℃] | µg/℃ | 75 | ||
综合偏值（K0）误差 | 温度范围[-40℃， 85℃] | mg | 0.14 | ||
标度因数（K1）温度系数 | 测定范围[-40℃， 85℃] | ppm/℃ | 20 | 120 | 220 |
综合标度因数（K1） | 温度范围[-40℃， 85℃] | mV/g | 1330 | 1350 | 1370 |
温度传感输出电压@20℃ | V | 1.20 | 1.23 | 1.26 | |
温度传感灵敏度 | mV/℃ | -4.0 | |||
复位阈值电压 | 低电平有效 | %VDD | 20 | ||
工作电压 | V | 3.2 | 3.3 | 3.4 | |
工作电流 | mA | 2.3 | 4 |
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