在微电子制造、光刻技术、航空航天等高端工业领域，精度是决定产品成败的核心关键。毫米以下的精度偏差往往意味着整批产品的报废、设备停机甚至项目延期。

行业痛点

传统位置反馈设备如钢带尺或玻璃光栅，受限于材料热膨胀、安装误差和环境干扰，已难以满足当前超精密加工对稳定性、分辨率与抗干扰能力的高要求：

一是测量精度无法满足纳米级加工需求，导致产品良率骤降；

二是测量设备与生产环境适配性差，主机散热、安装空间限制影响测量稳定性；

三是多自由度测量场景下，传统设备难以兼顾效率与精度，拖慢生产节奏。

这些不仅是技术问题，更是影响良品率、生产效率和设备可靠性的系统性挑战，而光纤激光尺，正是为解决这些行业痛点而生的高精度测量解决方案。

光纤激光尺：系统级精度解决方案

PLR3000光纤激光尺基于激光干涉原理，将氦氖激光通过保偏光纤传输至干涉探头，稳频精度最高可达0.02ppm——这意味着在1米的测量距离中，频率波动误差仅0.02微米，远优于传统测量工具。实现了非接触、高分辨率、多通道的位置反馈。同时，其线性测量精度达0.2~0.5ppm，以0.2ppm的PLR3200 PRO型号为例，测量4米量程时最大误差仅0.8微米，满足芯片光刻中对晶圆定位的纳米级精度要求。

更关键的是，设备采用激光发射装置与干涉探头分离设计，通过3米铠装光纤连接，既能将主机远离产线热源，避免温度变化对测量通路的干扰，又能灵活适配狭小安装空间，最大程度降低阿贝误差，解决了“精度与环境适配”的两难问题。

但其核心价值不在于测量，而在于构建稳定可靠的位置基准系统。

关键技术优势

1、0.02ppm稳频精度：从源头上杜绝频率漂移，确保长期稳定性；

2、10nm分辨率：支持微米级甚至亚微米级运动控制；

3、多探头配置：支持角锥棱镜、平面镜、差分干涉等多种光学结构，适应反射镜、线性轴、旋转台等不同场景；

4、环境补偿单元：实时监测温湿度、气压，自动修正空气折射率影响，保证测量数据真实可靠；

5、主机与探头分离设计：通过铠装光纤连接，可将激光器远离热源与振动源，减少系统干扰。

典型应用场景与方案价值

场景一：光刻机工作台多自由度定位

三轴同步输出，配合差分干涉仪，可实现工作台的纳米级闭环控制，提升套刻精度与设备吞吐量。

场景二：精密机床刀补与反馈控制

通过安装平面镜干涉仪，实时反馈刀头位置，结合环境补偿功能，即使在车间温波动大的环境下也能保持±0.5ppm的线性精度。

场景三：航空航天领域

大型构件加工时需兼顾长距离与多自由度测量，选择角锥棱镜干涉探头（最大量程4m，最大速度2m/s），配合一体化环境补偿单元，可自动监测温度、气压、湿度并实时修正激光折射率，即使在车间环境波动下，也能保证测量准确性

随着工业4.0与智能制造的深入推进，测量技术也需同步升级。光纤激光尺不仅能满足当前纳米级测量需求，还具备可拓展性——PLR3000量程可突破4m，分辨率可通过外部拓展进一步提升，为未来更高精度的制造场景预留空间。同时，其多通道输出与定制化探头设计，能与自动化产线深度融合，助力企业实现“测量-反馈-调整”的闭环控制，推动制造过程向智能化转型。对于正面临精度瓶颈的制造企业而言，选择合适的测量工具是突破发展的关键一步。

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